Під плитами OSB утеплювач не обов'язково - можна покласти і зверху плит. А ось пароізоляція бажана т. к. якщо у бетонній підставі є залишкова вологість, то вона перейде в плити. Але якщо основа досить старе і сухе, то по плитам OSB можна спокійно укладати тепла підлога.
Рекомендую монтувати не кабельний, а інфрачервоний підігрів. Він на багато економічніше (вживає всього 30 - 50Вт/м. кв) і при його роботі практично відсутнє магнітне поле. В якості утеплювача під плівку можна використовувати Ізолон з лавсановій відбиває поверхнею.